Home > Ä¿¹Â´ÏƼ > ÀÚÀ¯°Ô½ÃÆÇ
Ãß»óÀûÀÎ 2004³â ±×·¡ÇÉÀÇ ¹ß°ßÀº Àç·á °úÇÐÀڵ鿡°Ô 2Â÷¿ø ¹°Áú ¿¬±¸¿Í ³ª³ëÀüÀÚ°øÇÐ ¹× ¾çÀÚ ¼ÒÀÚ(°ÔÀÌÆ® Á¶Àý °¡´ÉÇÑ Á¶¼Á½¼ Á¢ÇÕ ¹× ´ÜÀÏ ±¤ÀÚ ¹æÃâ±â Æ÷ÇÔ)¿Í °°Àº Â÷¼¼´ë ¼ÒÀÚ¿¡¼ÀÇ ¹°¸®Àû Ư¼º ¹× ÀáÀçÀû Ȱ¿ë °¡´É¼º ޱ¸¿¡ ´ëÇÑ ¿µ°¨À» ºÒ¾î³Ö¾ú½À´Ï´Ù. ÀÀ¿ë ºÐ¾ß¿¡¼ ÇÙ½É °úÁ¦´Â °íǰÁú ¹Ú¸·ÀÇ ¿þÀÌÆÛ ½ºÄÉÀÏ ¼ºÀå, CMOS °øÁ¤ È帧°úÀÇ ¿øÈ°ÇÑ ÅëÇÕ, ÀûÃþ ¼ø¼ ¹× Ãþ°£ °áÇÕÀÇ °áÁ¤·ÐÀû Á¦¾î µîÀÔ´Ï´Ù. ¸ð¾Æ·¹ ÃʰÝÀÚ °ü·Ã Àü¼Û, ½½¶óÀ̵ù °À¯Àü¼º, Á¶Àý °¡´ÉÇÑ ¿¢½ÃÅæ Ư¼º°ú °°Àº Çö»óÀ» Ȱ¿ëÇϸé Â÷¼¼´ë ¼ÒÀÚ¸¦ ±¸ÇöÇÒ ¼ö ÀÖ´Â °¡´É¼ºÀ» ¿¾îÁÙ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.Ãß»óÀûÀÎ ¾Ë·ç¹Ì´½ ½ºÄµã Áúȹ°(AlScN) °À¯Àüü´Â °À¯Àüü Àü°è È¿°ú Æ®·£Áö½ºÅÍ(FeFET)¸¦ À§ÇÑ ÈİøÁ¤(BEOL) ȣȯ Ç÷§ÆûÀ» Á¦°øÇÏÁö¸¸, ³ôÀº º¸Àڷ°ú µÎ²¨¿î ¹Ú¸·¿¡ ´ëÇÑ ÀÇÁ¸¼ºÀ¸·Î ÀÎÇØ ÀúÀü¾Ð µ¿ÀÛ ¹× ¼ÒÀÚ ¼ÒÇüȰ¡ Á¦Çѵ˴ϴÙ. ÃÖ±Ù Device Àú³Î ¿¡ ¹ßÇ¥µÈ ³í¹®¿¡¼ Leblanc ¿¬±¸ÆÀÀº AlScN ¹Ú¸·À» ¾ã°Ô ¸¸µé°í Á¶¼ºÀ» Á¶ÀýÇÔÀ¸·Î½á ´ÜÀÏü 3D ÅëÇÕÀ» À§ÇÑ ÀúÀü¾Ð 2D MoS©ü µ¿ÀÛÀ» ±¸ÇöÇÒ ¼ö ÀÖÀ½À» º¸¿© ÁÖ¾ú½À´Ï´Ù
½ºÆ÷Ã÷Áß°è ¯±¸Æ¼ºñ ½ºÆ÷Ã÷Áß°è»çÀÌÆ®Á¦ÀÛ ½ºÆ÷Ã÷Áß°è ½ºÆ÷Ã÷Áß°è ½ºÆ÷Ã÷Áß°è Æ÷Ç×ÃâÀ帶»çÁö Àΰ赿 ½º¿þµð½Ã Àΰ赿 ½º¿þµð½Ã Á¤ÀÚµ¿ ½º¿þµð½Ã Á¤ÀÚ¿ª ½º¿þµð½Ã ¾ßž ½º¿þµð½Ã À̹®µ¿ ÈÞ´ëÆù¼ºÁö ´Ù»êÈÞ´ëÆù¼ºÁö Àΰ赿 ½º¿þµð½Ã Àΰ赿 ½º¿þµð½Ã ºÐ´ç ¹Ù´Ï¹Ù´Ï õ¾È´Ù±¹Àû³ë·¡¹æ ¿µ´ö´ë°Ô ¸ÀÁý °³²ÇÏÀÌÆÛºí¸¯ ±ÞÀü ¼Ò¾×±ÞÀü ¼¸é³ë·¡¹æ ¼¸é°¡¶ó¿ÀÄÉ ¼¸é°¡¶ó¿ÀÄÉ °³² ÇÏÀÌÆÛºí¸¯ °³² ÇÏÆÛ ½ºÆ÷Ã÷Áß°èÁ¦ÀÛ ½ºÆ÷Ã÷Áß°èapi ½ºÆ÷Ã÷Áß°è¼Ö·ç¼Ç ½ºÆ÷Ã÷Áß°èapi ½ºÆ÷Ã÷Áß°è¼Ö·ç¼Ç ½ºÆ÷Ã÷Áß°èÁ¦ÀÛ